株式会社アルバック 様 ご提供 解析事例
磁場解析ソフトMagNet ユーザー事例
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解析事例 –> ユーザー事例 スパッタリングの基礎とMagNet利用方法 株式会社アルバック 千葉超材料研究所 第1研究部第1研究室第2研究係 様 ご提供 |
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| お問合せ：株式会社アルバック | ||
現在設計されている対象について教えてください(もしくは、設計されている製品を教えて下さい)： マグネトロンスパッタリング用磁気回路の設計 |
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MagNetの導入に踏み切った理由と、他社製品と比較検討した上で、MagNetを選らんだ決め手を教えてください ： モデルの作成から解析までの作業性がよい 一度の解析で3次元空間のシミュレーションが行えるため、短い作業時間で磁気回路の性能考察が行える （他社製品ではモデルと解析が別ソフトであったり、要素毎の入力作業が多く、作業ミスの原因となっていた。また、一度の解析が任意の平面のみに限定される為、空間的に磁場の分布解析には不向きであった。） |
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現在のMagNetの活用方法を教えてください： 磁力線形状や空間の磁場強度分布を解析し、磁気回路の基本設計や各種スパッタプロセスの現象の理解に活用 |
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MagNetの操作はどの程度でおぼえられましたか： 2～3週間程度 |
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MagNet導入前と導入後で変化はありましたか？： 磁気回路の開発スピードの向上(試作品の製作作業が大幅にカットされた) スパッタリングプロセスと磁場分布の関係性の考察作業の改善 |
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MagNetへの今後の期待をお聞かせ下さい： 磁場解析結果からプラズマの核となる電子やイオンの軌道シミュレーション |
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ありがとうございました。 |
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