IntelliSuite – プロセスモデリング
MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite -プロセスモデリング
MEMS用統合解析ツールIntelliSuiteは、MEMS設計用のソフトウェアツールです。
その解析機能は、デバイス解析のみならず、プロセス、システム分野の解析/設計も視野に入れた、統合的な設計環境を実現するツールです。下記はIntelliSuiteが保有する各種プロセスのエッチングシミュレーション、プロセス設計用ソフトウェアです。
MEMS用統合解析ツールIntelliSuiteは、MEMS設計用のソフトウェアツールです。
その解析機能は、デバイス解析のみならず、プロセス、システム分野の解析/設計も視野に入れた、統合的な設計環境を実現するツールです。下記はIntelliSuiteが保有する各種プロセスのエッチングシミュレーション、プロセス設計用ソフトウェアです。