特徴

• 2D、3Dグラフを表示
• 3Dグラフの表示角度を自在に変更
• 新規データを追加可能
• データを参照した論文、著者名を検索可能

例えばプラズマCVDで窒化シリコンを堆積した場合の材料特性は、成膜の温度、圧力、プラズマを励起する高周波の強度・周波数、原料ガスのトール流量、シランガス濃度、アンモニアガス濃度、アルゴンガス濃度の8つのパラメーターに依存します。 その8つのパラメーターのうち、他のパラメーターを固定し温度と圧力の関数として内部応力の三次元のグラフを求めることができます。

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