IntelliSuite – MEMS用複合物理場解析

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite -MEMS用複合物理場解析

MEMS用統合解析ツールIntelliSuiteは、MEMS設計用のソフトウェアツールです。
その解析機能は、デバイス解析のみならず、プロセス、システム分野の解析/設計も視野に入れた、統合的な設計環境を実現するツールです。下記は、 IntelliSuiteが保有するデバイス解析のためのMEMS向けに特化したソルバー、機能です。