AnisE(R)は、バルクシリコンの異方性エッチング専用に開発されたプロセスシミュレーターです。 AnisE(R)を使用して、片面もしくは両面のマスクについて異方性エッチングプロセスのシミュレーションを行います。
エッチャントは、KOH、TMAH、DRYを使用可能です。
結果はシミュレーションのタイムステップ中は2Dで表示され、シミュレーションが完了した時点で、エッチングしたジオメトリの3Dモデルが表示されます。
時間、温度、濃度及び他のパラメータを変化させ、結果をすぐに見ることも可能です。

(Windows版AnisE(R)の結果表示画面, 3D viewer)	(Windows版AnisE(R)のメインウインドウ)