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機能

異方向エッチングシュミレーターAnisE　-機能

IntelliSuite(R)のAnisEの位置づけ

機能

データの用意されているエッチャント　KOH、TMAH
ウェハ　バルクシリコン　（100）、（110）
エッチ停止層を定義可能
断面形状の観察が可能
多段階のエッチングが可能
高精度な解析が可能
VRML、DXF形式での3次元形状情報の出力機能

AVI形式での3次元エッチングアニメーション出力