機能

ファブリケーションモデラーIntelliFAB -機能

特徴

  • 任意プロセスのデザイン
  • プロセスのファイル出力
  • 薄膜材料データベースMEMaterial(R)との連携
  • ユーザーライクなインターフェース
  • Fab Viewer機能による高速、高品質描画
  • プロセス工程検索
  • FEAモデル出力機能(Hexpresso使用)
  • プロセスレポートデータ出力機能

操作画面

IntelliFAB操作画面

IntelliFAB-02

IntelliFABモデル
IntelliFABではプロセスとマスクデータを連携させることで、自動的にヘキサメッシュのFEAモデルを出力することが可能です。
IntelliFABでは、製造プロセスをより確認しやすくするためにPowerPoint,PDFに出力することが可能。